SECS/GEM300协议通讯平台

半导体认可SECS/GEM

多年来，SECS/GEM一直是半导体行业工厂/设备通信和控制系统的支柱。这意味着今天所有的半导体制造完全依赖于SECS/GEM通信。自90年代末以来，300mm半导体工厂一直在以SECS/GEM通信为基础的全自动化运行——像台积电、三星、美光、英特尔、东芝等大公司在每个工厂7*24小时的使用SECS/GEM。平板显示器、高亮度LED和光伏等其他行业也正式开始使用SECS/GEM，因为它们认识到SECS/GEM特性可以应用于任何制造设备，以支持关键任务的应用。

SECS / GEM＆GEM300是一套用于半导体设备和工厂主机的通信协议。这些标准由SEMI维护。虽然GEM300指的是一套300mm晶圆的通信标准，远远超过200mm晶圆的通信标准，但SECS / GEM被用作200和300mm通信协议以及其他自动化标准的通用术语。

SEMI E30 GEM标准描述了工厂主机（MES）和生产设备之间应如何支持通信和控制功能。详细场景概述了SECS-II消息（如SEMI E5标准中所定义）的确切顺序和子集，这些消息应该用于实现特定功能，以及必须向主机提供哪些支持工具数据。其目的是收集足够的信息，使主机能够深入了解工具的性能，并有足够的监督控制来远程管理产品加工，因此工厂车间并不总是需要操作员在场。

 

实现基本的 SECS/GEM 通信
证券交易委员会创业板标准SECS/GEM 功能始于在工厂主机和工具之间建立 SECS 通信通道的最基本要求;下一步是确定谁控制该工具：远程工厂主机或本地操作员。一旦主机获得控制权，它就可以发出工具必须执行的远程命令 - 通常用于启动设备上的处理，但有时用于路由材料或执行预处理或后处理活动。材料加工是通过运行过程程序（配方）来完成的;虽然 GEM 规定了如何在主机和工具之间管理配方，但配方本身包含特定于设备的处理指令。

GEM 中的一个核心概念是该工具能够向主机提供有用的信息：

 

状态和数据变量用于报告工具的当前状态、传感器读数和处理结果。
每当工具上发生值得注意的事情时，就会发布事件。
每当工具遇到错误情况时，就会发出警报。
工厂主机可以使用此信息来启动处理请求、监视结果并根据需要调整处理参数，或响应异常情况，所有这些都使用标准 SECS 消息传递。

SEMI E30的设备要求
基本的GEM合规性需要工具来实现E30标准中描述的所有功能的最小子集。大多数基于SECS和GEM的晶圆厂都希望工具至少能够实现远程控制、数据/事件/警报发布和过程项目管理。有些功能不太常见，例如假脱机（存储工具消息以供以后传输，当主机和工具之间的通信中断时）或限制监控（对设备报告的过程数据进行简单的类似SPC的分析）。无论特定晶圆厂如何请求您的工具支持，我们的SECS/GEM连接产品都能完全符合SEMI E30标准中描述的每种功能。