分峰操作的基本步骤
1. 将所拷贝数据转换成txt格式：把所需拟合元素的结合能和峰强两列数据复制到一空的记事本文档中，并保存。
2. 打开XPS Peak，引入数据：点Data--Import(ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。
3. 选择本底：点Background，在所出现的小框中的High BE和Low BE下方将出现本底的起始和终点位置(因软件问题，此位置最好不改，否则无法再回到Origin)，本底将连接这两点，Type可据实际情况选择。
4. 选峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型(如C1s峰则选s，S2p峰则选p)，在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽(FWHM)、峰面积等。各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系，如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距可固定为3.45，峰面积比可固定为4:3等。点Delete peak可去掉此峰。然后再点Add peak选第二个峰，如此重复。
5. 选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点Optimise region进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点Optimise region。
6. 拟合完成后，分别点另一个窗口中的Rigion Peaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数，此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不满意，可改变这些峰的参数，然后再点Optimise region。
7. 点Save XPS存图，下回要打开时点Open XPS就可以打开这副图继续进行处理。
8. 点Data――Print with peak parameters可打印带各峰参数的谱图，通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。(如Word文档)点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。
9. 点Data――Export (spectrum)，则将拟合好的数据存盘，然后在Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在Origin中作出拟合后的图。
本文所用的软件为xpspeakfull,软件的安装包请自取
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